蒸餾水:通過蒸餾冷凝制得的水所以里面的無機鹽會含的很少.如果只是經過一次蒸餾得到的水里面雖然那些不揮發的組分（鹽類）被除去但水中揮發的組分（氨、二氧化碳、有機物）還是會進入蒸餾水中.
雙蒸水:兩次蒸餾
三蒸水:三次蒸餾
超純水:超純水又稱高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水，。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導率小于0. 1μs/cm。常見純化儀器:NANOpure或Milli-Q
去離子水:應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。 從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子 然后加壓通過反滲透膜 zui后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物 假如此時電阻率還沒有達到要求的話 可以再進行一次離子交換和反滲透過程 而蒸餾水只是先氣化再冷凝 純度一般不如去離子水 實際半導體工業中用的大多數是去離子水.
無菌水:通常是通過高溫蒸汽法,UHT熱法,化學法,臭氧方法和物理過濾法將水中微生物殺死或過濾掉而得到的水,水中的無機鹽等一般來說不會減少.
